中国航天科工飞航技术研究院的刘华松等研究人员采取正交实验法系统地研究了离子束溅射制备的Ta2O5薄膜光学带隙,基于Cody-Lorentz介电常数物理模型,通过光谱反演计算获得薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度,后得到了Ta2O5薄膜禁带宽度和Urbach带尾宽度的调整方法
五氧化二钽靶材------ InChI=1/5O.2Ta/rO5Ta2/c1-6(2)5-7(3)4五氧化二钽(Ta2O5)为白色无色结晶粉末,是钽常见的氧化物,也是钽在空气中燃烧生成的终产物。主要用作拉钽酸锂单晶和制造高折射低色散特种光学玻璃用,化工中可作催化剂
制备五氧化二钽薄膜并研究其性能,有很强的实用价值,已引起人们的密切关注。
【中文名称】五氧化二钽
【英文名称】tantalic oxide; tantalum pentoxide
【结构或分子式】 Ta2O5
【分子量】 441.89
【密度】8.2g/cm3
【熔点(℃)】1800
【性状】
白色斜方晶体,菱形柱状体。
【溶解情况】
溶于熔融硫酸氢钾和氢氟酸,不溶于水和其他酸。
Ta2O5(氧化钽)薄膜的光谱透过波段为0.3~10um,是可见光到近红外波段重要的高折射率材料之一。